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TGV玻璃激光微孔設備

主要利用激光進行誘導不同材質0.1-1mm厚晶圓玻璃的微孔加工(TGV),可實現(xiàn)各種尺寸盲孔、圓錐(通)孔制備。

  • 咨詢電話:0512-6507 0150
  • 電子郵箱:contact@delphilaser.com

■ 設備參數(shù)

產(chǎn)品材質

熔融石英、AF32等

產(chǎn)品厚度

0.1-1mm

最小孔徑

30μm@玻璃厚度200-300μm

加工精度

±5μm,CPK>1.33

晶圓尺寸

6"&8"/8"&12"

Load Port

Bare wafer Load Port*1

X-Y Table Accuracy

±2μm



■ 應用領域

     用于玻璃通孔(TGV)、玻璃鉆孔等



■ 加工效果示例圖

      


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