碳化硅晶圓激光切割設(shè)備
應(yīng)用于航天航空、電力電子等行業(yè)微波器件,功率器件的晶圓片的切割(以碳化硅材料為基板的晶圓)
■ 設(shè)備優(yōu)勢(shì)
◆ 切割速度快,切割效果好,良率高
◆ 提供整套的裂片&擴(kuò)片設(shè)備,完整的解決方案
◆ 工藝成熟,可針對(duì)不同類(lèi)型的晶圓進(jìn)行切割
■ 應(yīng)用領(lǐng)域
應(yīng)用于航天航空、電力電子等行業(yè)微波器件,功率器件的晶圓片的切割(以碳化硅材料為基板的晶圓)
■ 加工效果示例圖
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